Wafer preparation

In de elektronica is een wafer een dun plakje halfgeleidermateriaal, zoals een siliciumkristal, dat wordt gebruikt voor de productie van geïntegreerde schakelingen en andere microapparaten. Bij het zagen van Si-ingots tot wafers met draadsneden is koeling van de snijvloeistof nodig. Alfa Laval biedt compacte, betrouwbare oplossingen met hoge warmteoverdrachtefficiëntie.

Slurry recovery 640x360

De wafer dient als substraat voor micro-elektronische apparaten die in en op de wafer worden gebouwd en ondergaat vele microfabricageprocesstappen, zoals doping of ionenimplantatie, etsen, afzetting van verschillende materialen en fotolithografische patroonvorming. Uiteindelijk worden de individuele microcircuits gescheiden (dicing) en verpakt.

Geschikte oplossingen uit het warmtepompaanbod van Alfa Laval zijn platenwarmtewisselaars met pakkingen, AlfaNova volledig roestvrijstalen warmtewisselaars en gelaste platenwarmtewisselaars. Allemaal zijn ze compact, betrouwbaar en bieden ze een hoge warmteoverdrachts-efficiëntie.