Wafer preparation

In de elektronica is een wafer een dunne schijf van halfgeleidermateriaal, zoals een siliciumkristal, die wordt toegepast bij de productie van geïntegreerde schakelingen en andere microapparaten. Bij het zagen van Si-ingots tot wafers met draadzagen moet de snijslurry worden gekoeld. Alfa Laval levert compacte en betrouwbare oplossingen met een hoge warmteoverdrachts­efficiëntie.

Slurry recovery 640x360

The wafer serves as the substrate for microelectronic devices built in and over the wafer and undergoes many microfabrication process steps, such as doping or ion implantation, etching, deposition of various materials, and photolithographic patterning. Finally the individual microcircuits are separated (dicing) and packaged.

Suitable solutions from Alfa Laval’s heat exchanger range are gasketed plate heat exchangers, AlfaNova all-stainless steel heat exchangers, and brazed plate heat exchangers. All are compact, reliable and offer high heat transfer efficiency.