Wafer preparation

In de elektronica is een wafer een dunne schijf van halfgeleidermateriaal, zoals een siliciumkristal, die wordt toegepast bij de productie van geïntegreerde schakelingen en andere microapparaten. Bij het zagen van Si-ingots tot wafers met draadzagen moet de snijslurry worden gekoeld. Alfa Laval levert compacte en betrouwbare oplossingen met een hoge warmteoverdrachts­efficiëntie.

Slurry recovery 640x360

De wafer dient als substraat voor micro-elektronische apparaten die in en op de wafer worden gebouwd en ondergaat vele microfabricageprocesstappen, zoals doping of ionimplantatie, etsen, afzetting van verschillende materialen en fotolithografische patroonvorming. Uiteindelijk worden de afzonderlijke microcircuits gescheiden (dicing) en verpakt.

Geschikte oplossingen uit het assortiment warmtewisselaars van Alfa Laval zijn dichtingsplaatwarmtewisselaars, AlfaNova volledig roestvrijstalen warmtewisselaars en gelaste plaatwarmtewisselaars. Ze zijn allemaal compact, betrouwbaar en bieden een hoge warmteoverdrachtsefficiëntie.