Wafer preparation
In de elektronica is een wafer een dunne plak halfgeleidend materiaal, zoals een siliciumkristal, gebruikt voor de productie van geïntegreerde circuits en andere microapparaten. Bij het zagen van Si-ingots tot wafers met draadzagen is koeling van de snijvloeistof nodig. Alfa Laval biedt compacte, betrouwbare oplossingen met hoge warmteoverdracht.
Efficiënte Warmteoverdracht voor Waferverwerking
De wafer dient als substraat voor micro-elektronische apparaten die in en op de wafer worden opgebouwd en ondergaat vele microfabricagestappen, zoals dopering of ionenimplantatie, etsen, depositie van verschillende materialen en fotolithografische patroonvorming. Uiteindelijk worden de individuele microcircuits gescheiden (dicing) en verpakt. Geschikte oplossingen uit het assortiment warmtewisselaars van Alfa Laval zijn plaatwarmtewisselaars met pakking, AlfaNova volledig roestvrijstalen warmtewisselaars en gelaste plaatwarmtewisselaars. Al deze zijn compact, betrouwbaar en bieden een hoge warmteoverdrachtsefficiëntie.