Wafer preparation
Dans l'électronique, une wafer est une fine tranche de matériau semi-conducteur, tel qu'un cristal de silicium, utilisée dans la fabrication de circuits intégrés et d'autres microdispositifs. Lors de la découpe de lingots de Si en wafers à l'aide de scies à fil, il est nécessaire de refroidir la boue de coupe. Alfa Laval propose des solutions compactes, fiables et offrant une haute efficacité de transfert thermique.
Transfert thermique efficace pour le traitement des wafers
Le wafer sert de substrat pour les dispositifs microélectroniques construits dans et sur le wafer et subit de nombreuses étapes de microfabrication, telles que le dopage ou l’implantation ionique, la gravure, le dépôt de divers matériaux et la photolithographie. Enfin, les microcircuits individuels sont séparés (dicing) et conditionnés. Des solutions adaptées de la gamme d’échangeurs de chaleur d’Alfa Laval sont les échangeurs de chaleur à plaques à joints, les échangeurs de chaleur AlfaNova tout en acier inoxydable et les échangeurs de chaleur à plaques brasées. Tous sont compacts, fiables et offrent une efficacité élevée de transfert thermique.